英福康公司是真空儀器、關鍵傳感器技術和先進的工藝控制軟件方面領先的開發、制造與供應商,其產品廣泛應用于半導體及相關工業以及其它真空行業。這些分析、測量和控制產品對于原始設備制造商和終端用戶在復雜的半導體、平板顯示器、磁和光學儲存媒體與精密光學元件的制造方面是極為重要的。 ...[查看更多]
德國INFICON UL5000干式氦檢漏儀由愛儀器儀表網代理,本產品是測量*的氦檢漏儀,現在熱賣中,如需購買,可通過ai1718.com的客服熱線聯系我們!
產品簡介:
?英福康UL5000氦氣檢漏儀設計用于滿足*關鍵和*苛刻的檢漏應用。通過在現場驗證過的真空設計中采用英福康專利軟件算法I-CAL和Hydro-S
?UL5000提供測試靈活性、高靈敏度和快速、*的測量結果,使得所有檢漏應用更迅速、更容易
?該UL5000為所有測量范圍提供快速詳細時間,并提供極短的周期時間以滿足測試條件和*終結果。該特別設計的真空結構提供持續、高度的氦氣抽吸及極快的響應時間
產品特點:
?I-CAL(智能——漏率計算法)確保了所有測量范圍中的快速響應
?經現場驗證的英福康扇形磁場質譜儀多年以來的*、可重復結果實現了無故障、免維護的設計
?特殊的多入口渦輪分子泵可提供*佳的氦氣抽速及全壓強范圍內的高氦氣壓縮比,實現了*靈敏度、響應度和快速清潔性
?增壓渦輪分子泵可對所有測試目標做出快速響應,包括*大容量和腔室
?旋轉式顯示器/控制界面和可選配的手持遙控器實現了操作靈活性
?自保護功能可防止UL5000受到氦氣和微粒的污染,自動吹掃循環可確保UL5000的隨時可用性
?單元和系統軟件的訪問控制可通過軟件激活,防止未授權的使用或測試設置的意外修改
?通過電子郵件進行的軟件升級可確保您的UL5000處于*佳狀態
?含*佳高度工作面的新型工作站設計以及ESD臺墊和工具箱實現了測試便利性
?可選RC1000遙控器
?離子源3年質保
產品應用:
?測漏半導體和平板工具
?測漏航空部件、配件和系統
?測漏學產品,如心房脈沖產生器、導尿管、X射線管和核磁共振(MRI)系統
技術規范 | UL1000FAB |
*小氦可檢漏率(真空模式)*) | <5×10-12毫巴·升/秒 |
*小氦可檢漏率(吸槍模式)*) | <5×10-8毫巴·升/秒 |
*大氦可檢漏率,可顯示的 | 0.1毫巴·升/秒 |
*大進氣口壓 GROSS 模: FINE 模式: ULTRA 模式: | 15毫巴 2毫巴 0.4毫巴 |
抽速 在抽空過程中 | 25米3/小時(17.6呎3/分),50Hz 30米3/小時(21.1呎3/分),60Hz |
氦抽 GROSS 模式: FINE 模式: ULTRA 模式: | *大8升/秒 7升/秒 2.5升/秒 |
漏率訊號的時間常數 (盲住,63%*終值) | <1秒 |
抽空時間,直到準備檢漏(本底5×10-9) 無附加容積 測試容積1升 測試容積10升 | 5秒 10秒 80秒 |
響應時間(漏率10-9毫巴·升/秒) 容積高至1升 容積高至10升 | <1秒 <2秒 |
直到儀器準備好運行的時間 | <3分鐘 |
可檢質量數 | 2,3,4 |
質譜儀 | 180°扇形磁場 |
離子源 | 2根燈絲,敷涂氧化銥/釔 |
校準漏孔TL7(內置)漏率范圍 | 10-7毫巴·升/秒 |
測量單位(可選) | 毫巴·升/秒,帕·米3秒,乇·升/秒,大氣壓·毫升/秒,PPM,克/年(僅吸槍模式) |
測試口 | 25KF |
可調整的觸發點 | 2 |
接口 | RS232 |
輸入/輸出 | PLC兼容,用于控制和狀態信息 |
圖形記錄儀輸出 | 2x10伏 |
電源電壓 | 230伏(±10%)50Hz 115伏(±10%)60Hz 100伏(±10%)50/60Hz |
功耗 | 1100伏安 |
尺寸(長×寬×高) | 1068×525×850毫米(42×21×33時) |
重量 | 110公斤(242磅) |
保護類型 | IP40 |
允許環境溫度(運行中) | +10℃.....+40℃ |
專業從事儀器儀表檢修9年,部分可提供服務的產品型號如下: