日本OLYMPUS（奧林巴斯）　AL120晶圓搬送機

型號：AL120晶圓搬送機

品牌：日本OLYMPUS（奧林巴斯）

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日本OLYMPUS（奧林巴斯）

“將社會價值引入公司內部”這個是奧林巴斯企業的管理哲學。作為一名社會的成員，奧林巴斯在處理與個體關系中扮演著重要的作用。因此，奧林巴斯采納了將社會價值引入公司內部，接受社會價值觀作為其商業思想的重要組成部分。自從那時，奧林巴斯明確了自己的位置，主要是一個相機生產商和發達的胃內照相...[查看更多]

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AL120-12晶圓搬送機

美國OLYMPUS AL120晶圓搬送機由愛儀器儀表網代理，本產品是操作方便，非常適合于前道到后道工程的晶圓檢查的晶圓搬送機，現在熱賣中，如需購買，可通過ai1718.com的客服熱線聯系我們!

產品簡介：
?AL120晶圓搬送機可對應200mm以下晶圓尺寸的硅、化合物晶圓，可以安全高效搬送薄片晶圓
?非常適合于前道到后道工程的晶圓檢查
?適應范圍廣、搭配靈活
?高度實用性
?進一步優化的宏觀檢查
?操作便捷
?高度可靠性
?優先考慮晶圓和操作者的安全
?堅固、耐用的顯微鏡底座
?人機工程學設計的載物臺
?電動物鏡轉換器和孔徑光闌相互鎖定，可以優化各物鏡的照明和對比度
?如果特別訂制，AL120還可以應用到其他型號的顯微鏡上

產品特點：
?對應多種尺寸組合
?有200 mm專用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型（對應小于150 mm的晶圓）的3種型號
?對應薄片制造廠家的需求，AL120-LMB-90搭載的新型搬送手臂的設計可以搬運整盒25枚90 μm的極薄晶圓
?宏觀檢查手臂可以360゜旋轉，更為容易發現傷痕和微塵
?利用360゜旋轉功能，完全可以目視檢查整個晶圓（包括邊緣）
?在表面宏觀檢查中，使用操縱桿可隨意將晶圓*大傾斜30゜進行觀察
?為了滿足各種常規檢查的要求，AL120可以登記多達10個檢查程序
?使用這一功能可以記錄特定的卡盒、晶圓和傳輸速度
?快速菜單選擇按鈕則可以讓操作員立刻切換不同程序
?晶圓搬送機的菜單設置和設置參數都會在新型的LCD顯示器上顯示
?使用RECALL按鈕可以顯示檢查時登記的有缺陷的對應SLOT，便于操作者再次確認
?AL120使用非接觸光學定位、查找和對齊缺口／平面，可以減少晶圓和設備之間的接觸，提高晶圓的清潔度
?為了能夠安全的安裝晶圓，采用了在裝置正面放置片盒的設計
?在安全性和人機工學上通過了SEMI S2/S8檢測，同時，在環境保護方面遵守了RoHS指令
?AL120搭載奧林巴斯MX晶圓檢查顯微鏡系列，通過各種觀測方法
?實現了*的圖像分辨率和清晰度
?手動快速釋放真空載物臺可以提高操作員的舒適度和工作效率，標準功能為XY軸控制和晶圓旋轉功能。
?可通過操縱桿或預編程的程序控制電動載物臺，進一步將檢查過程自動化
?只需一鍵便可驅動載物臺返回或離開load/unload位置及原點位置

型號		200 mm專用型	200 mm/150 mm 兼用型				150 mm型
		AL120- LMB8- 90	AL120-LMB86- 180	AL120-L86-180	AL120- LMB86	AL120- L86	AL120-LMB6-50	AL120- L6-150
晶圓尺寸（SEMI規格）		200mm	200mm / 150mm				150mm / 125mm / 100mm
晶圓*小厚度		90μm	180μm		400μm		150μm
片盒類型*		SEMI規格：25（26）個slot
片盒數		1
檢查模式		全部檢查／抽樣檢查
搬運順序	微觀檢查（顯微鏡檢查）	○	○	○	○	○	○	○
	表面宏觀檢查	○	○		○		○
	背面宏觀檢查	○	○		○		○
	二次背面宏觀檢查	○	○		○		○
晶圓定位（每 90o）		非接觸（定位平邊／V型槽）					非接觸（定位平邊）
適配顯微鏡型號		奧林巴斯半導體檢查顯微鏡 MX61
尺寸（mm）		主機部分：640 (W) × 620 (D) × 378 (H) 配備顯微鏡時：1100 (W) × 620 (D) × 378 (H)					主機部分：570 (W) × 620 (D) × 400 (H) 配備顯微鏡時：980 (W) × 620 (D) × 400 (H)
重量（kg）（僅主機部分）		44	44	41	44	41	40	37
使用環境（電源／真空）		AC100 V～120 V、1 A或AC220 V～240 V、0.5 A 50/60 Hz、-67～-80 kPa、20 Liter/min以上